???????????????????沈陽北博電子科技有限公司
SHENYANG BEIBO ELECTRONIC TECHNOLOGY CO.,LTD.
??五十年代：奠基
1952年，成立電子計算機科研小組，由中科院數(shù)學所所長華羅庚負責；
1956年，半導(dǎo)體技術(shù)作為四大緊急措施之一寫入中科院的學部委員們編撰德《十二年科學技術(shù)發(fā)展遠景規(guī)劃》，獲得批示；
??六七十年代：前進
1966年，中科院下屬109廠與上海光學儀器廠協(xié)作，研制成功我國第一臺65型接觸式光刻機；
1970年代，中國科學院開始研制計算機輔助光刻掩模工藝；
1971年，清華大學精密儀器系教師徐端頤，回京負責新一代光刻機的研發(fā)；
1972年，武漢無線電元件三廠編寫《光刻掩模版的制造》；
1977年，光刻機座談會在江蘇吳縣召開；
1977年，中國第一臺GK-3型半自動接觸式光刻機誕生，與國際水平有一定差距；
1978年，中科院1445所升級開發(fā)GK-4，仍為接觸式，中美技術(shù)差距20年；
??八十年代前期：僅次美國，比肩日韓
1980年，徐端頤及其團隊研制第四代分步式投影光刻機獲得成功，光刻精度達到3微米，接近國際主流水平；
1981年，中國科學院半導(dǎo)體所研制成功JK-1型半自動接近式光刻機；
1982年，科學院109廠的KHA-75-1光刻機，估計跟當時最先進的canon相比最多也就不到4年差距；
1984年，“撥改貸”，眾多半導(dǎo)體項目無奈停止；
1985年，中電科45所研制出分步投影式光刻機，通過電子部技術(shù)鑒定，認為達到1978年美國GCA公司推出的4800DSW水平。這應(yīng)當是中國第一臺分步投影式光刻機，中國在分步光刻機上與國外的差距不超過7年。后來的光刻機巨頭ASML公司剛剛誕生。
（國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)薄弱，雖有光刻機，沒有市場，也就沒有商業(yè)化，機器都只是實驗室擺放，相關(guān)研究成果及論文，在通過專家評審后即被束之高閣，之后與國外差距越來越大?！凹埳险劚?，應(yīng)該是對這個階段中國光刻機技術(shù)的最好注解。）
聲明：本文內(nèi)容摘錄自網(wǎng)上一些行業(yè)信息整理，圖片也保留原出圖作者信息，目的是交流傳播行業(yè)的發(fā)展狀況，促進半導(dǎo)體行業(yè)水平快速提高，如有作者覺得內(nèi)容有侵權(quán)嫌疑，來電告知，可以刪除。謝謝原作者的創(chuàng)作的勞動付出！
沈陽北博電子科技有限公司市場營銷與售后服務(wù)部門擁有完整成熟的服務(wù)體系和標準化的服務(wù)流程，傾力為顧客提供專業(yè)的技術(shù)支持和暖心的售前售中售后服務(wù)！ 如您在產(chǎn)品和服務(wù)使用當中，發(fā)現(xiàn)什么問題，敬請反饋給我們，以便我們及時改進，并為您提供更好的產(chǎn)品和服務(wù)！對您的支持和幫助我們表示誠摯的謝意！
沈陽北博電子科技有限公司
通訊地址：沈陽市大東區(qū)滂江街81號 振浩大廈（544）
公司電話：024-88448588
公司網(wǎng)址：www.yunmk.cn
微信公眾號：北博beibo
