???????????????????沈陽北博電子科技有限公司
SHENYANG BEIBO ELECTRONIC TECHNOLOGY CO.,LTD.
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------ 探索新技術(shù) ------ 發(fā)掘新應(yīng)用 ------ 攀登新高度 ------ 創(chuàng)造新價(jià)值 ------
2021年最新盤點(diǎn)中國23條MEMS生產(chǎn)線（信息全面?。?/div>
1、賽微電子 （代工）
賽微電子2015年在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，重點(diǎn)發(fā)展MEMS工藝開發(fā)與晶圓制造業(yè)務(wù)，積極布局GaN材料與器件業(yè)務(wù)，目前的主要產(chǎn)品及業(yè)務(wù)包括MEMS芯片的工藝開發(fā)及晶圓制造、GaN外延材料生長與器件設(shè)計(jì)。
賽微電子在2016年全資收購瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關(guān)、硅麥克風(fēng)等多種MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造的服務(wù)。
根據(jù)半導(dǎo)體市場研究機(jī)構(gòu)Yole Development統(tǒng)計(jì)的2020年數(shù)據(jù)，Silex Microsystems AB 在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市場（不包含IDM廠商自身制造部分的統(tǒng)計(jì)）的占有率約為8%。
同年，引入戰(zhàn)略股東北京集成電路制造和裝備股權(quán)投資基金，在北京啟動(dòng)建設(shè)“8英寸MEMS國際代工線建設(shè)項(xiàng)目”。
2021年6月北京8英寸MEMS產(chǎn)線（北京FAB3）一期建成生產(chǎn)，目前處于產(chǎn)能爬坡階段，每月生產(chǎn)5000片，預(yù)計(jì)到2021年底可生產(chǎn)每月1萬片。FAB3二三期工程正在進(jìn)行，全部投產(chǎn)后，預(yù)計(jì)FAB3總產(chǎn)能達(dá)3萬片每月。
2018年3月由中芯國際、紹興市政府、盛洋集團(tuán)共同出資設(shè)立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項(xiàng)目開工奠基，該項(xiàng)目用地207.6畝，新建14.65萬平米的廠房，建設(shè)一條集成電路8寸芯片制造生產(chǎn)線和一條模組封裝生產(chǎn)線。
中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風(fēng)、加速度計(jì)、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。
中芯集成一期規(guī)劃10萬片8英寸晶圓月產(chǎn)能。于2020年1月正式投產(chǎn)，5年內(nèi)持續(xù)投資近60億人民幣建設(shè)達(dá)產(chǎn)，形成芯片年出貨51萬片和模組年出貨19.95億顆的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，規(guī)?；慨a(chǎn)麥克風(fēng)、慣性、射頻、MOSFET以及IGBT等產(chǎn)品的芯片和模組，實(shí)現(xiàn)年銷售收入達(dá)40億人民幣，稅收4.1億元，凈利2億元。
2020年第四季度一期產(chǎn)能擴(kuò)產(chǎn)至每月4萬片晶圓，近期其成功完成晶圓設(shè)備鏈調(diào)試，8英寸晶圓月產(chǎn)能增至7萬片，良品率達(dá)99%。
上海先進(jìn)半導(dǎo)體前身是1988年中荷合資的上海飛利浦半導(dǎo)體公司，經(jīng)過多次改制后，2019年被上海積塔半導(dǎo)體吸收合并，改制為上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司。
先進(jìn)半導(dǎo)體由傳統(tǒng)模擬芯片代工廠轉(zhuǎn)型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生產(chǎn)線，MEMS生產(chǎn)線可以代工的器件包括：三軸陀螺 儀、加速度計(jì)、生物MEMS芯片、光學(xué)MEMS、RFMEMS、微流體開關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、醫(yī)療電子以及汽車電子等領(lǐng)域。
目前，該MEMS生產(chǎn)平臺(tái)擁有世界最先進(jìn)的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設(shè)備，設(shè)計(jì)月產(chǎn)量可達(dá)3000片。
華潤微電子是2002年華潤集團(tuán)收購華晶集團(tuán)改組而成，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴(kuò)充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺(tái)從6英寸升級到8英寸，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競爭能力。
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司合并而成，自建設(shè)中國大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產(chǎn)線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產(chǎn)能約18萬片。
在8英寸制造平臺(tái)上，華虹實(shí)現(xiàn)MEMS器件與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計(jì)、加速度計(jì)、壓力傳感器等。
6、浙江芯動(dòng)科技（代工）
浙江芯動(dòng)科技有限公司位于浙江省嘉興市，是一家專注高端MEMS代工并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)加工企業(yè)，是納杰微電子旗下公司。
芯動(dòng)科技擁有先進(jìn)的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程，生產(chǎn)壓力、加速度計(jì)、陀螺儀，光鏡和生物醫(yī)學(xué)等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。
芯動(dòng)科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線的建設(shè)，計(jì)劃聯(lián)合資本方在未來2-3年投入5億元人民幣繼續(xù)完善制造基地的相關(guān)設(shè)備設(shè)施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國最先進(jìn)的MEMS器件加工平臺(tái)之一，具備芯片制造、封裝測試等一系列的能力。
睿創(chuàng)微納總部位于山東煙臺(tái)，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設(shè)計(jì)與制造的企業(yè)。
睿創(chuàng)微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線由公司與代工廠共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。
2020年7月，與煙臺(tái)開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設(shè)一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導(dǎo)體工藝線。其中，化合物半導(dǎo)體芯片工藝線面向半導(dǎo)體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。
罕王微電子是一家以MEMS傳感器設(shè)計(jì)及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區(qū)，系罕王集團(tuán)控股子公司。
罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國內(nèi)首條8英寸純MEMS規(guī)模化量產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設(shè)計(jì)晶圓產(chǎn)能36萬片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應(yīng)力傳感器等。
中國電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用”通過科技部組織的專家驗(yàn)收。
6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬片。
西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗(yàn)室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國先進(jìn)的MEMS器件加工平臺(tái)。
西人馬19年11月獲得朗潤基金數(shù)千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，今年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國內(nèi)MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達(dá)到幾十萬顆。
奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)，是國內(nèi)率先應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、封裝測試、終端應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡稱IDM）企業(yè)。
2019年奧松電子斥巨資打造MEMS半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線，一期工程凈化車間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區(qū)、百級潔凈度光刻區(qū)、千級潔凈度鍍膜區(qū)、千級潔凈度刻蝕區(qū)、千級潔凈度離子注入?yún)^(qū)及參觀通道等。
2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。
奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個(gè)投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬片，
2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對外開放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設(shè)備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。
2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導(dǎo)體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設(shè)8英寸先進(jìn)MEMS特色半導(dǎo)體IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目。該項(xiàng)目建成后，將成為國內(nèi)先進(jìn)的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，提高M(jìn)EMS芯片的代工和量產(chǎn)能力。 諾思微系統(tǒng)位于天津，是一家無線設(shè)備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)以及硅襯底的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)，同時(shí)為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。
諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4英寸工藝研發(fā)線。廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬平方米。
2021年3月，國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目在諾思微系統(tǒng)啟動(dòng)，針對5G/6G無線通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對實(shí)現(xiàn)晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。
2021年8月完成4億元融資，預(yù)計(jì)在一年內(nèi)全面加速產(chǎn)能釋放，達(dá)年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規(guī)模。
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設(shè)有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應(yīng)芯片產(chǎn)線。
多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設(shè)計(jì)、制造和測試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。
2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對現(xiàn)有產(chǎn)線進(jìn)行升級，能夠進(jìn)一步強(qiáng)化“自研、自產(chǎn)、技術(shù)領(lǐng)先”的核心競爭力。
4、湖南啟泰傳感科技（IDM）
2019年8月該生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設(shè)總用地面積2萬多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達(dá)600萬顆，傳感器封裝200萬支，年產(chǎn)值可達(dá)10億元。
二期項(xiàng)目正在進(jìn)行，預(yù)計(jì)完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達(dá)2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年產(chǎn)值可達(dá)50億元。
高德紅外創(chuàng)立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線，是目前國內(nèi)唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測器生產(chǎn)線，已實(shí)現(xiàn)從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規(guī)格產(chǎn)品型號批產(chǎn)能力。
高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產(chǎn)線，據(jù)2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能。
武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設(shè)備，并建立創(chuàng)新自主開發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。
2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項(xiàng)目擴(kuò)建，一期為租賃現(xiàn)有廠房5600平方米，建設(shè)3600平方米的無塵室車間；二期計(jì)劃建設(shè)約10000平方米的無塵室車間，用于擴(kuò)大生產(chǎn)。
17、杭州士蘭微電子（IDM）
杭州士蘭微1997年成立，是國內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。
自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請相關(guān)發(fā)明專利百余項(xiàng)。
目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。
2021年7月30日，士蘭微發(fā)出資產(chǎn)重組公告，引入國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司，募集11億元。 蘇州固锝成立于1990年，是國內(nèi)二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務(wù)。
2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺(tái)技術(shù)及八寸晶圓級封裝技術(shù)及產(chǎn)線和產(chǎn)品研發(fā)。
2011年成立明皜傳感，從事微機(jī)電傳感器芯片和器件的工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人民幣增加至 7085.19 萬元人民幣，增幅為 9.96%。
2012年成立艾特曼電子，主要從事晶圓級MEMS器件封裝工藝及相關(guān)核心技術(shù)的開發(fā)并提供代工服務(wù)，服務(wù)領(lǐng)域涵蓋消費(fèi)類電子產(chǎn)品、汽車電子、工業(yè)控制、家電領(lǐng)域慣性傳感器（加速度計(jì)、陀螺儀）以及紅外傳感器等。
2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導(dǎo)體，愿景是將華景傳感的MEMS麥克風(fēng)芯片設(shè)計(jì)技術(shù)與蘇州固锝的封測技術(shù)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)相結(jié)合，逐步實(shí)現(xiàn)MEMS麥克風(fēng)在高端領(lǐng)域的進(jìn)口替代。
同月，華锝MEMS聲學(xué)傳感器及射頻濾波器封測項(xiàng)目落戶蘇州。項(xiàng)目一期產(chǎn)線將建立符合華為體系標(biāo)準(zhǔn)的MEMS聲學(xué)傳感器的封測基地，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期將引入國內(nèi)首創(chuàng)MEMS麥克風(fēng)及射頻濾波器的WLP晶圓級封裝產(chǎn)線，該晶圓級封裝為芯片流片工藝最后一道關(guān)鍵工藝，華锝將擁有自主晶圓級封裝相關(guān)自主技術(shù)知識產(chǎn)權(quán)。
蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)政府出資）建設(shè)，是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目。
蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線采用市場化、全開放的運(yùn)作模式，主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專利運(yùn)營、設(shè)備租賃、超凈場地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品
該產(chǎn)線由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。
是國內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺(tái)，超凈規(guī)模國內(nèi)一流；配備了國際一流設(shè)備的中試代工線，中試生產(chǎn)能力可達(dá)月產(chǎn)傳感器十萬只，產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內(nèi)先進(jìn)水平。
21、中科院微電子所（中試線）
2016年由中科院微電子所設(shè)立的MEMS研發(fā)平臺(tái)，其8英寸MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達(dá)到98%；針對三軸重力加速度計(jì)、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。
2017年，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡稱“工研院”）構(gòu)建的國內(nèi)首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式投入運(yùn)營，月產(chǎn)量將達(dá)到3000件。
該產(chǎn)線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設(shè)備。作為國內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率。
今年6月，上海微技術(shù)工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機(jī)時(shí)資助給上海大學(xué)，用于微電子學(xué)院教學(xué)實(shí)踐，為期5年。
中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有的MEMS技術(shù)平臺(tái)由微系統(tǒng)加工平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái)兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內(nèi)主樓的一層和二層凈化間內(nèi)。
整個(gè)平臺(tái)擁有100多臺(tái)套先進(jìn)的大中型設(shè)備，總價(jià)值達(dá)1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術(shù)保障。 結(jié)語
這幾年爆發(fā)的中美貿(mào)易糾紛，以及新冠疫情影響，讓深處電子行業(yè)的各家廠商飽受半導(dǎo)體芯片技術(shù)“卡脖子”之苦，缺“芯”浪潮綿綿不絕。
如果國產(chǎn)廠家擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，那么產(chǎn)能就不會(huì)這么受制于人。隨著國產(chǎn)精神的覺醒，大量資本的涌入，相信接下來中國MEMS產(chǎn)線將會(huì)越開越多！
來源:
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作者:beibo
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發(fā)布時(shí)間: 2021-10-09
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導(dǎo)讀：國內(nèi)MEMS企業(yè)主要以Fabless玩家為主，能夠自己擁有MEMS晶圓產(chǎn)線的IDM或代工玩家相對較少。本文搜集了目前中國自有MEMS產(chǎn)線的企業(yè)或者機(jī)構(gòu)信息，信息更新時(shí)間為2021年8月，所有信息均來自企業(yè)公告、網(wǎng)絡(luò)公開信息源，如有錯(cuò)誤歡迎留言指正。
PS：隨文附帶國內(nèi)MEMS第一股——敏芯股份，以及睿創(chuàng)微納、高德紅外的企業(yè)研究報(bào)告，供參考閱讀?？稍趥鞲衅鲗＜揖W(wǎng)公眾號后臺(tái)回復(fù)關(guān)鍵詞【敏芯股份報(bào)告】、【睿創(chuàng)微納報(bào)告】、【高德紅外報(bào)告】獲取。
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2、中芯集成電路制造（紹興）（代工）
3、上海先進(jìn)半導(dǎo)體（代工）
4、華潤微電子（IDM&代工）
5、華虹宏力（代工）
7、睿創(chuàng)微納（IDM）
8、罕王微電子（IDM&代工）
9、河北美泰（IDM）
10、廈門西人馬（IDM）
11、廣州奧松電子（IDM&代工）
12、諾思微系統(tǒng)（IDM）
13、多維科技（IDM&代工）
2006年成立，總部在湖南瀏陽。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團(tuán)隊(duì)攻克了異質(zhì)膜關(guān)鍵工藝與技術(shù)，建設(shè)國內(nèi)第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線，是世界上少數(shù)幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規(guī)模化生產(chǎn)能力的公司之一。
15、高德紅外（IDM）
16、武漢衍熙微器件（IDM）
武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設(shè)備，并建立創(chuàng)新自主開發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。
18、蘇州固锝（IDM）
19、蘇州納米城（中試線）
20、淄博高新區(qū)6英寸中試線
22、上海微技術(shù)工研院（中試線）
23、中科院上海微系統(tǒng)所（研發(fā)平臺(tái)）
聲明：本文內(nèi)容摘錄自網(wǎng)上一些行業(yè)信息整理，圖片也保留原出圖作者信息，目的是交流傳播行業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r，促進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)水平快速提高，如有作者覺得內(nèi)容有侵權(quán)嫌疑，來電告知，可以刪除。謝謝原作者的創(chuàng)作的勞動(dòng)付出！
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